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上海光機所大口徑釹玻璃加工取得重要進展

來源:中國科學(xué)院    發(fā)布時間:2011-09-06 15:59:49    編輯:管理員    瀏覽:1532

  中科院上海光學(xué)精密機械研究所恒益公司大口徑釹玻璃加工取得重要進展,精拋光面形透射波前畸變可穩(wěn)定優(yōu)于1/3λ(λ=632.8nm),技術(shù)指標(biāo)達到國內(nèi)大平面光學(xué)環(huán)拋加工最高水平,為國際同類產(chǎn)品加工先進水平,并具備小批量生產(chǎn)能力。

  近年來,釹玻璃片精拋光過程中的面形控制工藝難度和表面疵病嚴(yán)重超標(biāo)的現(xiàn)象一直制約著上海光機所恒益公司的加工產(chǎn)能。近幾個月來,上海光機所恒益公司集中組織專業(yè)技術(shù)人員,對釹玻璃光學(xué)加工中的相關(guān)工藝逐一進行分解和細(xì)化,圍繞確定性環(huán)形拋光技術(shù)和生產(chǎn)過程控制,以工藝改進和效率提升為目標(biāo),從技術(shù)路線和管理路線兩個方面進行攻關(guān)研究。

  目前,生產(chǎn)效能和加工工藝水平都取得重要進展,集中表現(xiàn)為以下兩個方面:產(chǎn)能得到有效提升,7個月內(nèi),月產(chǎn)能從2片/月提升到現(xiàn)在的15片/月;產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)提升,尤其是表面質(zhì)量得到有效控制和改進,供貨合格率得到大幅提高。

  大口徑釹玻璃是高功率激光裝置的核心元件,其最大工件尺寸接近一米,精密拋光的面形要求為透射波前畸變優(yōu)于1/3λ,相當(dāng)于0.21微米的平面度要求。在大尺寸釹玻璃上實現(xiàn)如此高的平面度,溫梯度發(fā)生1℃的變化都會造成其面形畸變,技術(shù)難度高。來源上海光學(xué)精密機械研究所)

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